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徐秋霞:科研报国 不让须眉
发布日期:2018-01-19 浏览次数:字体:[ ]

在1月8日举行的2017年度国家科学技术奖励大会上,中国科学院微电子研究所研究员、博士生导师、研究生院教授徐秋霞参与完成的“22-14纳米集成电路器件工艺先导技术”项目,获得2017年国家技术发明二等奖。记者从有关方面了解到,徐秋霞教授还是余姚老乡。昨天,记者电话采访了远在北京的徐秋霞教授,这位年过古稀仍奋斗在科研一线的著名半导体专家。

“我从小在余姚长大,所以对余姚感情很深,去年刚回过一趟余姚。”电话那头,传来了徐秋霞饱含深情的话语。

徐秋霞1955年从当时的余姚阳明一小毕业,1961年又从余姚中学毕业,考入浙江大学物理专业。“大三的时候,国家发展半导体事业急需人才,我们全班转入了无线电系半导体材料与器件制造专业。”从此,徐秋霞与半导体结下了一世的情缘。

当时我国在半导体科技领域还处于落后阶段,徐秋霞立志科研报国,为祖国的半导体事业努力奋斗。半导体是新兴学科,凭着年轻人的一腔热血以及对新生事物的浓厚兴趣,她勤奋学习,成绩一直名列前茅。五年的大学生活赋予了她扎实的专业功底,而浙大的“求是”校风更培养了她严谨的科学态度和对工作的高度责任感。

1965年教学改革试点,浙大的毕业设计由常规的半年延长至一年,还未走出校门的徐秋霞被老师带到上海元件五厂参与新产品的研发。从那时起,她就踏上了半导体器件的研究之路。

1967年,徐秋霞被分配到东北长春半导体厂工作,在那里一干,就是十年。1977年,徐秋霞进入中科院半导体所,致力于集成电路新工艺技术、新结构和新材料的研究及其器件应用。

1983年,徐秋霞作为访问学者,前往当时的联邦德国佛朗霍夫固体技术研究所工作。在国外的一年半时间里,她更加坚定了要为祖国半导体事业赶超发达国家而奋斗的决心。

归国后第二年,徐秋霞担任中科院“七·五”重大项目负责人,开始带领团队开展工作,承担了“1-1.5微米新工艺和新器件结构探索性研究”科技项目。之后,在“0.8微米全套工艺预研”的“八·五”国家攻关任务中,徐秋霞又作为核心骨干,负责关键技术研究和继承电路芯片等工作。“0.8微米全套工艺预研”项目获得了1996年中科院科技进步一等奖和1997年国家科技进步二等奖。

1996年,徐秋霞再次作为中科院高级访问学者,前往美国伯克莱大学电子工程系,与国际著名学者开展合作研究。她的出色表现得到了教授们的赞赏,被盛情邀请留校从事研究工作。然而,徐秋霞放弃了美国先进的科研条件和优厚的待遇,回到国内,作为专题负责人,开始国家“九·五”项目的攻关。

就这样,从最初的长春半导体厂到如今的中科院,一个又一个五年,一个接着一个攻关,数十年如一日,徐秋霞几乎每天要在超净实验室里工作10多个小时,任务紧急时,甚至通宵达旦。

二十多年来,徐秋霞和她的团队在纳米、超深亚微米和亚微米CMOS关键技术及新结构器件研究等方面取得了多项创新成果,先后承担并出色完成了一系列国家重大科技攻关项目。徐秋霞凭借在集成电路科研领域的杰出贡献,多次荣获国家科技进步奖和国家技术发明奖。

如今,年逾七十的徐秋霞仍精神矍铄,在国家半导体集成电路科研前沿演绎着自己的瑰丽人生。“做科学研究首先要有创新精神,只有大胆创新,敢于突破,才能研究出有价值的东西。其次,做研究要执着,要甘于寂寞,敢于坐冷板凳,不能急功近利,要踏踏实实,一步一个脚印,这样才能把自己所想真正变为现实。”

徐秋霞告诉记者,她虽然长期在外地工作,但是对家乡始终充满了深厚的感情。“我知道在半导体集成电路方面,余姚有一些企业做得还不错。”徐秋霞表示,希望能够发挥自己的优势,为家乡发展尽一份绵薄之力。

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